Performance d'isolation Des bases en céramique d'alumine pour les équipements de mesure de précision et l'inspection industrielle

Performance d'isolation Des bases en céramique d'alumine pour les équipements de mesure de précision et l'inspection industrielle

Ces bases de support en céramique d'alumine sont fabriquées à l'aide d'un matériau Al2O3 de 99,6% de haute pureté, spécialement conçu pour les équipements de mesure à semi-conducteurs, optiques et de précision.d'une épaisseur supérieure ou égale à 0,01 mm.01 mm/m et un coefficient de dilatation thermique de 7,2×10−6/°C, les produits maintiennent une stabilité dimensionnelle exceptionnelle à des températures extrêmes (-60°C~1500°C) et dans des environnements à vide (≤10−8Pa).

Principaux domaines d'application

• Équipement à semi-conducteurs: stades de plaquettes de lithographie, bases de chambres de réacteurs à gravure

• Optique de précision: Plateformes de référence d'interféromètres laser, montures de miroirs pour télescopes spatiaux

• Instruments d'analyse: échantillonnage par microscope électronique, support de source ionique par spectromètre de masse

• Inspection industrielle: bases de machines CMM, plateaux tournants pour le test de la rondeur

• Une nouvelle énergie: supports de pile à combustible, supports d'équipement de revêtement photovoltaïque

Matrice des avantages de performance

Spécifications techniques

Processus de fabrication de précision

1. Traitement des poudres: poudre de haute pureté de 0,1 μm avec granulation par pulvérisation

2. Le processus de formation: Presse isostatique (300 MPa) combinée à l'usinage vert CNC

3. Technologie de frittage: Sintration par dégradé à 1700°C dans une atmosphère hydrogène

4. Machinerie de précision:

   • à haute résistance à l'usure

   • Polissage magnétoréologique (précision de surface λ/20@632,8 nm)

5. Traitement en salle blanche: Assemblage terminé en salle blanche de classe 100

6. Inspection complète: Interféromètre laser + inspection dimensionnelle complète par CMM

Lignes directrices d'installation

• Exigences relatives à l'installation:
  ✓ Utiliser une clé de couple (valeur recommandée 1,5 ± 0,2 N·m)
  ✓ Utilisez des outils de salle blanche
  ✓ Préajustement recommandé de l'appariement thermique (gradient de température < 2°C/min)

• Les limites de l'environnement:
  Évitez le contact avec l' acide fluorhydrique
  Éviter les chocs thermiques > 200°C/min
  Ne convient pas à des environnements d'oxydation continue > 1600 °C

Engagement au service

• Appui technique: analyse de stress gratuite de la FEA

• Réaction rapide: service accéléré de 72 heures

• Gestion de la traçabilité: enregistrements de production complets sur 10 ans

• Appui à la certification: documents de certification SEMI/FDA/ISO fournis

Questions fréquentes

Q: Comment assurer la correspondance thermique avec les composants en carbure de silicium?
A: conception de transition de gradient CTE disponible (réglable à 7,2-4,5 × 10−6/°C)

Q: Dimensions maximales traçables?
R: Limite technique actuelle de 500×500×100 mm (outillage spécial requis)

Q: La modification du conducteur est-elle prise en charge?
A: versions antistatiques personnalisables avec une résistance de surface de 104 à 1010Ω

Q: Comment la propreté au niveau des plaquettes est-elle garantie?
R: Stérilisation finale par VHP (péroxyde d'hydrogène vaporisé)