Performance d'isolation Des bases en céramique d'alumine pour les équipements de mesure de précision et l'inspection industrielle

Bases en céramique d'alumine à performance d'isolation pour équipements de mesure de précision et d'inspection industrielle

Ces bases de support en céramique d'alumine sont fabriquées à partir de matériau Al₂O₃ de haute pureté à 99,6 %, spécialement conçu pour les équipements de semi-conducteurs, optiques et de mesure de précision. Dotés d'une planéité ultra-élevée de 0,01 mm/m et d'un coefficient de dilatation thermique de 7,2 × 10⁻⁶/°C, les produits maintiennent une stabilité dimensionnelle exceptionnelle dans des températures extrêmes (-60 °C ~ 1500 °C) et des environnements sous vide (≤ 10⁻⁸ Pa).

Domaines d'application principaux

• Équipements de semi-conducteurs: Platines de wafers de lithographie, bases de chambres de réacteurs de gravure

• Optique de précision: Plateformes de référence d'interféromètres laser, supports de miroirs de télescopes spatiaux

• Instruments d'analyse: Platines d'échantillons de microscopes électroniques, supports de sources d'ions de spectromètres de masse

• Inspection industrielle: Bases de machines à mesurer tridimensionnelles (MMT), plateaux rotatifs de testeurs de circularité

• Nouvelles énergies: Supports de piles à combustible, supports d'équipements de revêtement photovoltaïque

Matrice des avantages de performance

Spécifications techniques

Processus de fabrication de précision

1. Traitement des poudres: Poudre de haute pureté de 0,1 µm avec granulation par atomisation

2. Processus de formage: Pressage isostatique (300 MPa) combiné à un usinage à vert CNC

3. Technologie de frittage: Frittage à gradient à 1700 °C sous atmosphère d'hydrogène

4. Usinage de précision ✗ Éviter le contact avec l'acide fluorhydrique

   • Rectification 5 axes (± 0,002 mm)

   • Polissage magnétorhéologique (précision de surface λ/20 @ 632,8 nm)

5. Traitement en salle blanche: Assemblage réalisé en salle blanche de classe 100

6. Inspection complète: Interféromètre laser + MMT pour une inspection dimensionnelle complète

Directives d'installation

• Exigences d'installation ✗ Éviter le contact avec l'acide fluorhydrique
  ✓ Utiliser une clé dynamométrique (valeur recommandée 1,5 ± 0,2 N·m)
  ✓ Utiliser des outils dédiés à la salle blanche
  ✓ Pré-ajustement recommandé pour l'adaptation thermique (gradient de température < 2 °C/min)Limitations environnementales

• : ✗ Éviter le contact avec l'acide fluorhydrique
  ✗ Éviter les chocs thermiques > 200 °C/min
  ✗ Ne convient pas aux environnements oxydants continus > 1600 °C
  Engagement de service

Support technique

• : Analyse par éléments finis (FEA) gratuite des contraintesRéponse rapide

• : Service accéléré sous 72 heuresGestion de la traçabilité

• : 10 ans d'enregistrements de production completsSupport de certification

• : Documents de certification SEMI/FDA/ISO fournisFAQ

Q : Comment assurer l'adaptation thermique avec des composants en carbure de silicium ?

R : Conception de transition de gradient de CTE disponible (réglable 7,2-4,5 × 10⁻⁶/°C)
Q : Dimensions maximales traitables ?

R : Limite technique actuelle 500 × 500 × 100 mm (outillage spécial requis)
Q : La modification conductrice est-elle prise en charge ?

R : Versions antistatiques personnalisables avec une résistance de surface de 10⁴-10¹⁰ Ω
Q : Comment la propreté au niveau du wafer est-elle garantie ?

R : Stérilisation finale par VHP (peroxyde d'hydrogène vaporisé)