Les bras robotiques en céramique imprimés en 3D offrent une précision et une durabilité inégalées pour l'industrie

Le bras robotique en céramique en alumine imprimée en 3D est une solution d'automatisation haute performance spécialement conçue pourFabrication de semi-conducteurs, manipulation des plaquettes et production automatisée. UtilisantTechnologie d'impression DLP / SLA 3D, il est fabriqué en un seul composant intégré de99,9% de céramique d'alumine de haute pureté (al₂o₃). Avec des propriétés exceptionnelles, notammentdureté ultra-élevée, résistance thermique, résistance à la corrosion et coefficient de dilatation thermique faible, c'est idéal pourenvironnements sous vide, conditions chimiques dures et processus à haute température, assurerHaute propreté et stabilitéDans les applications de manutention des plaquettes.

Applications clés

✅Manipulation de la plaquette semi-conductrice: Adhérence à l'aspirateur, positionnement et transfert deGauffes de 12 pouces
✅Équipement de gravure et de dépôt: Résistant au plasma pour les processus PVD / CVD
✅Opérations à haute température: Opération continue à300 ° C +
✅Lignes de production automatisées: Compatible avec les outils de fin de bras (EOAT) pour une productivité améliorée

Avantages compétitifs

Spécifications techniques

• Pureté des matériaux: ≥99,9% al₂o₃

• Technologie d'impression: Photopolymérisation DLP (précision ± 20 μm)

• Capacité de charge utile: 5kg (standard) / 10 kg (robeur)

• Répétabilité:± 0,01 mm Précision de positionnement

• Plage de température: -50 ° C à 300 ° C

• Rugosité de surface: Ra≤0,1 μm (polonable à 0,05 μm)

• Compatibilité sous vide: Canaux d'air intégrés (filtration 0,5 μm)

Processus de fabrication

1. Modélisation 3D: CAD Design + Simulation de chemin de manutention de la plaquette

2. Préparation de lisier: Mélange de résine Nano-Alumina + Photopolymère (55-58% de teneur solide)

3. Impression DLP: Durcissement couche par couche (20 μm d'épaisseur)

4. Frittage à haut tempête: Densification de 1650 ° C (117-122% de réduction de la rémunération)

5. Usinage de précision: Coupage au laser + broyage CNC (± 0,02 mm de planéité)

6. Contrôle de qualité: Inspection des rayons X + test de fuite

Instructions de fonctionnement

⚠Notes importantes:

• Autoclave stériliser (121 ° C) avant la première utilisation

• Évitez l'exposition à l'acide hydrofluorique (HF)

• Inspection conjointe mensuellepour l'usure et l'intégrité de l'aspirateur

• Utiliser des effets finaux en céramiquePour éviter les dommages causés par la tranche