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Bagues de protection en céramique d'alumine de haute pureté pour équipement de gravure de semi-conducteurs | Anneaux de protection de chambre à vide avec tailles personnalisées et résistance aux hautes températures

Name: Bagues de protection en céramique d'alumine de haute pureté pour équipement de gravure de semi-conducteurs | Anneaux de protection de chambre à vide avec tailles personnalisées et résistance aux hautes températures
Brand: Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
SKU: dépend du produit réel
Availability: InStock

Détails du produit

Lieu d'origine: Fabriqué en Chine, Zhejiang, Jinhua

Nom de marque: Dayoo

Certification: GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015

Numéro de modèle: dépend du produit réel

Conditions de paiement et d'expédition

Quantité de commande min: tel que négocié et convenu

Prix: as negotiated and agreed

Détails d'emballage: Carton, caisse en bois

Délai de livraison: dépend du produit réel

Conditions de paiement: GOUSSET

Capacité d'approvisionnement: usine

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Détails du produit

Description du produit

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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                anneaux de protection en céramique d'alumine, bagues en céramique de gravure de semi-conducteurs, bagues en alumine résistantes aux hautes températures
                              

Résistivité volumique:	10 ^ 14 Ω · cm	Coefficient de dilatation thermique:	7 - 8 x 10^-6 /°C
Résistance mécanique:	Très haut	Résistance à la rupture:	3 - 4 MPa·m^0,5
Rigidité diélectrique:	10 - 15 kV/mm	Densité apparente:	> 3,63
Température d'utilisation maximale:	1700C	Résistance à la flexion:	200 à 400 MPa
Faible perte diélectrique:	0,0002	Applications:	Isolateurs électriques, pièces d'usure, outils de coupe, dispositifs médicaux
Composition chimique:	Al2O3 (oxyde d'aluminium)	Température de fonctionnement maximale:	1700 ° C
Isolation électrique:	Haut	Pureté:	Généralement 95 % à 99,9 %
Résistance à la température:	Jusqu'à 1600 ° C

Résistivité volumique:	10 ^ 14 Ω · cm
Coefficient de dilatation thermique:	7 - 8 x 10^-6 /°C
Résistance mécanique:	Très haut
Résistance à la rupture:	3 - 4 MPa·m^0,5
Rigidité diélectrique:	10 - 15 kV/mm
Densité apparente:	> 3,63
Température d'utilisation maximale:	1700C
Résistance à la flexion:	200 à 400 MPa
Faible perte diélectrique:	0,0002
Applications:	Isolateurs électriques, pièces d'usure, outils de coupe, dispositifs médicaux
Composition chimique:	Al2O3 (oxyde d'aluminium)
Température de fonctionnement maximale:	1700 ° C
Isolation électrique:	Haut
Pureté:	Généralement 95 % à 99,9 %
Résistance à la température:	Jusqu'à 1600 ° C

Bagues de protection en céramique d'alumine de haute pureté pour équipement de gravure de semi-conducteurs | Anneaux de protection de chambre à vide avec tailles personnalisées et résistance aux hautes températures

Anneaux de protection en céramique d'aluminium de haute pureté

Les boucliers en céramique d'alumine sont des composants de protection annulaires de haute performance fabriqués à partir d'alumine de haute pureté (contenu en Al2O3 de 95% à 99,99%).Ces composants d'ivoire blanc ou beige-jaune présentent une texture dense et une finition de surface élevée, conçus pour fournir des fonctions de protection, d'isolation, de soutien et d'isolation dans diverses applications d'équipement.

Applications principales

Domaine d'application	Utilisations spécifiques
Fabrication de semi-conducteurs	Équipement de protection des chambres de gravure, barrière de bombardement au plasma, masque de dépôt
Équipement de revêtement sous vide	Anneau de protection entourant les appareils de chauffage et les récepteurs, bouclier anti-dépôt du procédé de pulvérisation
Électronique et électrique	Rings d'isolation à haute tension, couvercles de protection des composants électroniques, isolants à induction sous vide
Produits chimiques et métallurgiques	Protection des revêtements des réacteurs, supports de fours à haute température, manchons de tuyaux résistants à la corrosion
Sceaux mécaniques	Rings d'étanchéité de pompe et de soupape, anneaux de protection de roulement, boîtiers de composants résistants à l'usure

Principaux avantages

Excellente protection contre les bombardements au plasma, la corrosion chimique et l'usure mécanique
Dureté ultra-haute et résistance à l'usure (dureté de Mohs 9)
Excellente stabilité thermique avec une température de fonctionnement maximale allant jusqu'à 1750-1800°C
Isolation électrique exceptionnelle (résistivité volumique > 1 × 1014 Ω*cm)
Excellente stabilité chimique, résistant à la corrosion acide et alcaline
Contrôle dimensionnel précis avec des tolérances au niveau des microns
Matériau non toxique et écologique

Spécifications techniques

Paramètre	Valeur typique/intervalle	Les commentaires
Contenu en aluminium	95% à 99,99%	Personnalisable selon les exigences
Densité en vrac	30,64 à 3,98 g/cm3	Augmente avec la pureté
Résistance à la flexion	310 à 380 MPa	d'une puissance de sortie supérieure ou égale à 500 MPa
Résistance à la compression	2550 à 3500 MPa	Capacité de charge extrêmement importante
Dureté	Pour les appareils de traitement des eaux usées, les mesures suivantes doivent être appliquées:	Augmente avec la pureté
Résistance diélectrique	16.9 à 24 kV/mm	Excellentes performances en matière de sécurité électrique
Résistance au volume	> 1 × 1014 Ω*cm	Extrêmement élevé à température ambiante
Coefficient de dilatation thermique	7.2 - 8,4 × 10−6 /°C (20 à 1000°C)	Bonne stabilité dimensionnelle
Conductivité thermique	32 à 42 W/m*K	Augmente avec la pureté
Température de fonctionnement maximale	1600 à 1800 °C	Dans des conditions de non-charge
Résistance aux chocs thermiques	220 à 320 °C	Résiste aux changements de température rapides
Absorption de l'eau	0%	Pleinement dense, bonne étanchéité à l'air
Dimensions extérieures	OD 50 à 500 mm, épaisseur de 5 à 50 mm	Personnalisable selon les dessins

Processus de fabrication

Préparation de matières premières: broyage et mélange à billes de poudre d'alumine de haute pureté
Processus de moulage: pressage à sec, pressage isostatique ou coulée par pressage à chaud
Traitement des corps verts: découpage après moulage avec autorisation d'usinage
Sintrage à haute température: Sintrage sans pression à 1600-1700°C
Machinerie de précision: broyage et lapage à l'aide d'abrasifs au diamant
Inspection de la qualité: essais dimensionnels et de performance complets
Nettoyage et emballage: emballage sous vide ou en salle blanche

Directives d'installation et d'utilisation

Précautions d'installation:

Confirmer l'orientation et le positionnement des surfaces d'installation
Effectuer l'assemblage d'essai avant l'installation officielle
Utilisez des serviettes ou des gants doux lors de la manipulation
Veiller à ce que les surfaces de contact soient propres et exemptes de particules
Considérez un assemblage adapté à la rétrécissement pour les ajustements d'interférence

Service après-vente

Service de personnalisation pour les dimensions, la pureté et les tolérances
Consultation technique professionnelle et orientation de conception
Inspection à 100% avant expédition avec rapports sur les matériaux
Réponse 24 heures sur 24 aux problèmes des clients
Contrôle strict de la consistance par lot
Soutien aux petits lots pour la R & D et la production expérimentale

Questions fréquemment posées

Q1: Quelle est la différence entre les boucliers en céramique d'alumine et les boucliers en céramique ordinaire?

R: Les boucliers sont spécialement conçus pour des fonctions de protection avec des surfaces de positionnement précises, des structures de marche,et des dimensions d'ajustement strictement contrôlées pour assurer une réinitialisation précise à chaque remplacement.

Q2: À quelle température le produit peut-il résister? Quelle est sa résistance aux chocs thermiques?

R: la température maximale de fonctionnement atteint 1750-1800°C pour l'alumine de haute pureté. la résistance aux chocs thermiques est d'environ 220-320°C,d'une épaisseur n'excédant pas 50 cm3.

Q3: Quel niveau de précision dimensionnelle peuvent atteindre les anneaux de bouclier?

R: Les produits standard atteignent des tolérances de diamètre extérieur et intérieur de ±0,05 mm. Le meulage de précision peut atteindre des tolérances allant jusqu'à ±0,01 mm, avec une concentricité et un parallélisme contrôlés à 0,02 mm.

Q4: Les boucliers en céramique sont-ils faciles à casser?

R: Les céramiques d'alumine ont une dureté élevée mais une certaine fragilité. Évitez de marter, de laisser tomber ou de forcer à marter pendant l'installation. Utilisez un ensemble rétrécissant ou des joints flexibles,et porter des gants lors de la manipulation.

Q5: Les anneaux de protection peuvent-ils être réutilisés après le nettoyage?

R: Oui, à condition qu'il n'y ait pas de fissures ou de fissures sur la surface.

Q6: fournissez-vous des échantillons pour les tests? Quelle est la quantité minimale de commande?

R: Des échantillons de petits lots sont disponibles pour les tests et la vérification.

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